半導體實驗室氣路設計理念裝置組成工程學
　　
　　半導體實驗室氣路設計理念
　　
　　安全理念，我們做到了對實驗設備可能產生的有害廢氣、廢水進行特殊設計、處理，保障實驗人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據具體情況設計的zui短的逃生路線，優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置，增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率，減少了突發(fā)情況。
　　
　　半導體實驗室氣路：由氣源,切換裝置,調壓裝置,終端用起點,監(jiān)控及報警裝置等組成
　　
　　半導體實驗室氣路特點：主要體現在四個方面：安全、經濟、純度和人體工程學。
　　
　　1：安全:即使仍然使用鋼瓶供氣，但鋼瓶被放置在工作區(qū)外的一個安全區(qū)域，使用者可以通過配備的遠程切斷系統(tǒng)在緊急狀況下切斷氣體供應。鋼瓶儲存區(qū)的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器間的安全間距。鋼瓶的操作必須由培訓合格的人員來操作以減少重大事故發(fā)生的機率。
　　
　　2：經濟性：建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實驗室空間，更換鋼瓶時不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應。使用者只需管理較少的鋼瓶，支付較少的鋼瓶租金，因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。此種供應方式zui終會減少運輸費用，減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量，以及良好的鋼瓶管理。
　　
　　3：純度：可吹掃的減壓器面板可以保持氣體的純度，鋼瓶更換頻率的減少導致雜質進入系統(tǒng)的機率降低。
　　
　　4：人體工程學：集中管道供應系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處，這樣的話可以更合理的設計工作場所。